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激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性原理

三坐标测量机是一种用途很广的仪器.随着坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往比静态或准静态误差对测量精度的影响.由于在测量过程中的加、减速度明显加大，威尔圆度仪批发，测量机各结构件的分布产生的惯性力造成了机构的变形.在高速测量过程中，还必然会产生自激振动和受迫振动.此外，由于测量机的各运动部件的连结处都采用了刚度较低的气浮导轨支承，在加速或减速运动过程中，其动态特性也会发生明显的变化.所有这些都是产生动态误差的根源。