基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:a、光栅计数尺的误差;b、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;c、工作台两测量轴垂直度带了的误差;d、显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;e、测量室温度带来的误差;f、光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。 在这几种因素中,---项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
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